第二百七十五章 检验 (第2/3页)

的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司，当然不可能让人敞开了看。

    就在这时。光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色，并且出了一道短促的“哔——”声。

    一张2oomm直径的晶圆盘片，从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。

    “这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事。光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同，但他知道这已经是经过了光刻的盘片。

    此时这张盘片上面的光刻胶。应该已经被蒸了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机，就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。

    在场的所有人。除了保安部的安保人员以外，几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已经掌握了o.5微米工艺，答案就在这一刻了。

    “诸位，我们泛翰研究院究竟有没有掌握o.5微米工艺技术，大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻，我请你们记住1995年1o月7日这个光荣的日子……”

    周硕几乎是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。

    只是此时此刻，似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆，心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了o.5微米工艺。

    问题很简单，若非是有十足把握，周硕又怎么有这个勇气，在众人面前完成蚀刻程序？甚至有的人心里已经打起了小算盘，按照国内的传统，说不定是已经有了成功经验之后，才玩的这个出炉把戏吧。

    不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自觉间生了变化。

    和光刻程序比起来，蚀刻的度就快多了。几分钟之后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方，腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法觉的地步。

    当然，以蜂巢实验室里面的设备，有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。

    至少在1995年的集成电路制造水平，o.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经足够、足够。

    赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼，微微叹了口气。他站出来，自报奋勇道：“周先生，我来对这张晶圆进行测量，没有问题吧？”

    周硕呵呵笑着，将晶圆郑重的交到赵院长手里，点头说道：“能够有赵院长亲手测量，这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位，没有第二个人比赵院长更有公信力了。”

    赵院长小心的将晶圆接了过来，摇头道：“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去？要按照我的说法，你至少应该在我们所有人的面前，再放一张晶圆进去。”

    他顿了一顿，嗤之以鼻道：“前些年社会上还流行过水变油的闹剧，搞起这种夸张的科学技术来，向来是魔术师比科学家有本事。”

    

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