第三百四十三章 跳坑 (第2/3页)
8微米工艺之后,这项技术用了十年时间才逐渐完善起来。光是光源就从高压汞灯的g线升级到i线,也就是从436nm升级到365nm波长。然后才是krf准分子激光、arf准分子激光和f2准分子激光,波长也从248nm缩短到157nm。
每一种光源当然都不是拿个灯泡换一下就行了。像光刻机这种高精尖设备可谓是牵一而动全身。光源改变,你滤光系统要不要变?对准系统要不要变?你光刻胶的成分要不要变?
甚至,在o.35微米光刻机的基础上改造o.25微米工艺,如何利用和挖掘现有系统的潜力?
这对二十年后自己实验室里就有一台光刻机的周硕来说。成熟的、广泛应用新技术的光刻机他才是最熟悉的。让他真的去在二十年前的系统上,慢慢改造出沉浸式光刻技术,反而是强人所难的行为。
这就好像把现在的大学生扔到十九世纪末。他的科学知识肯定是世界顶级学者的水平。但要让他重新证明一次普朗克黑体辐射定律试试?还不分分钟被人戳穿。
周硕的状态也是差不多,按照他自己实验室里那台光刻机。重新复原一遍当然没问题。但要让他一点点重新走一次技术展的路线,这就是强人所难了。
好在这时候可没有不开眼的来跟他讨论具体的技术细节。反而是白石茉莉奈被这些成熟的技术体系打乱了脚步。
鹤田叹了口气,说道:“白石部长,这下你明白为什么我要把光刻机事业部,整个的置入新的合资公司了吧?不如此,恐怕我们尼康竟然无法掌握优势控股权了。而把新公司的控股权拱手相让,这是尼康绝对无法接受的事情。”
“怎么会这样……”白石茉莉奈失魂落魄的说道:“我们尼康二十年光刻机技术的积累,难道就和泛翰集团一年多的研究成果持平吗?”
白石茉莉奈是从光刻机事业部一点点爬上来的,正是如此才越知道技术开有多么困难。看着前辈们几十年的成果,今天却被轻易的牺牲掉,说不心疼那是不可能的。
“哼,你放心好了。”鹤田当然不可能束手待毙,恨恨的解释道:“只要合资公司成立,拿出新一代的光刻机技术,我们立刻就能拿下inte1的生产合同。到时候就有充足的理由进行产能扩张,尼康总公司也就有理由大规模向光刻机合资公司注资,早晚可以把这个狂妄的中国人踢出去的。”
“哎,希望如此吧。”白石茉莉奈心里当然希望鹤田说的是真的,但却有一种直觉提醒她事情不可能这么顺利。
“经过我和白石部长的商议,原则上我们同意向合资公司注入更多的资本和技术。”鹤田面无表情的说道:“除了一条o.35微米光刻机生产线以外,尼康公司还会注入正在研的o.25微米技术。这些技术包括平滑衍射、均匀照明、冷光处理……”
尼康在o.25微米光刻机的技术上,是有提前
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