第341章 与尖端的差距！林决带来的信心！ (第2/3页)

中。

    “通过这种方式。”

    “我们可以同构映射13.5纳米的EUV波长分布，以及同构11块镜子串起来后的误差分布。”

    “如此一来。”

    “我们便能准确知道，每一块镜子的具体相位偏差。”

    核心专家组们听到此话后，不禁陷入沉思。

    很快，有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问，

    “林决你的想法很新奇，不过我有点疑惑，你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压？”

    一听这话。

    林决笑了出来，就在这儿等着你呢。

    他关掉当前画面，打开另外一个节点图。

    “函子根据这个真实的相位分布，直接输出电压值给促动器施加局部变形，把镜面反向相位补偿量就行。”

    那个光学设计师皱眉沉思了一会儿，

    “嗯，逻辑上好像勉强能行。”

    在他的视角中。

    林氏函子光学变式这个东西，还没用科学进行验证过。

    所以.....

    还得保持怀疑谨慎的态度才行。

    林决也很赞同，“确实，这是相对理想化的推演，实际工况中，咱们还得经过反复测试。”

    等到那人坐下，立马又是一个个专家站起来提问。

    “没有绝对标定的参考基准，要怎么确定补偿量没有系统偏差呢？”

    “多路径反射杂光带来的对比度损失，你靠波前补偿怎么消掉？”

    “如果换高 NA 的更长光程，这套方法是否还能使用？”

    “.......”

    一个个问题被抛出。

    林决依旧轻松解答。

    “函子是基于自伴算子的正交分解做映射，所以偏差会刚好落在补偿空间的正交方向上。”

    蒋墨闻言，立马激动拍了拍桌子，跟旁边的房怀年炫耀，“你看，我的推导和林决一样吧！”

    与此同时，他心中再次不忘骂了一句：“我的废物孙子！看看人家！”

    林决回答继续着，

    “对比度损失的话.......函子算全局波前的时候，已经把所有多路径反射，当成传播群里的高阶元素算进全局解里。

    所以，在这个过程中，已经不用在光路里塞光阑，而是可以靠镜面变形反向抵消。”

    “NA更长光程吗？这个问题好......”

    林决之前在

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