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第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风 (第1/3页)
两人说话的时候。
核心专家组的众人目光,也都带着几分期许聚焦在了林决身上。
按理说.....
这种事情是不该就指望林决一个人来的。
要不然的话,不显得他们没用了吗?
但是吧......话又说回来了。
目前为止,林教授的方案完全没毛啊!
确实比他们提供的好太多了!
特别是林氏函子光学变式,在测试中的表现,完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知!
紧接着,众人便见台上的林决轻轻一笑,
“确实。”
闻言,陈望山不由得笑了出来。
至于房怀年几人,则是满脸讶异。
这小子......还真他娘是个人才啊!
整机闭环没跑完,你也敢提前做优化方案?
万一中间有超出预料的事情发生,那你不白干了吗?
不过.....
他们不知道的是,林决早已经通过胡老的手稿,在脑海中做过工程预演。
虽然最后他推演出来的数据,会和现实数据有着一定误差。
但却能够清晰的看到问题在哪里......
之后。
等整机闭关流程结束。
只需要通过相应的数据,再进行调整的就行。
两边同时进行。
还能够省下一部分时间。
当初面对胡闻洲时,他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。
所以必须争分夺秒了。
而现在。
整机跑完,结果出来。
果然......
由于映射输出端的频率太快,在高电压情况下光路产生偏振,误差也就随之增大了......
在得到林决回答后,卢敬尧立马好奇问着,
“用的什么方法,压频率还是降电压?亦或者通过控制曝光来解决?”
林决轻轻一笑,当即给否了,“都不选。”
“???”
“???”
“???”
蒋墨侧过头看着他,又是好奇又是疑惑,
“都不选?那你想干啥?”
按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。
目前只能调控这三个变量,然后再根据整机环境,慢慢做进一步调整。
林决平静开口,
“我们花了二十多天,把误差从 1.
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