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第355章 我若不成,自有后来人 (第1/3页)
“快说说,是用的什么方法!?”
陈望山的话,立马勾起胡闻洲的好奇。
不过。
此时陈望山却是卖了他一个关子,笑着咳了咳,这才开口,
“在说之前,我想先问一问老胡你,如果是你来改进的话,你会用什么方法?”
胡闻洲闻言,倒也不藏着掖着,
“我的初步预想是,通过控制频率和电压输出......最后再用多次曝光来提高精度......”
陈望山点了点头。
这跟之前开会时,卢敬尧提出的方案思路是差不多的。
作为行业内资深工程师,这其实是最常规,也是最大力出奇迹的方法。
因为在面对此问题的时候。
大家几乎都是惯性思维。
想着解决根源性问题,来处理掉误差。
说完后,胡闻洲微微一顿,语气中的好奇更甚,
“不过既然你都这么问,那林决肯定不是用的我的思路了。”
“是的......”
陈望山脑海中,回忆起当时开会时候的情景,嘴角露出些许笑容道,
“林决提出的是一个名为‘零偏映射’的新思路。”
“零偏映射?”
“是的。”陈望山把筷子放下,“老胡,你知道123个促动器控制的波前点吧?”
胡闻洲想也不想便回答,“108个......”
“对!林决他说,132个电压促动器多出了24个冗余自由度!也就是说,同一个波前有无数种电压组合。
我们传统的做法是取电压最小的那组.....
但林决却说。
只要波前达标解空间里取到镜面应力最小的组......精度就能回来!
甚至可能比测试中,所达到0.18nm RMS平均值更高.......”
胡闻洲沉默。
在脑海中简单理了一下思路。
作为前光刻机领域带头人。
胡闻洲虽然主攻光学领域,但在数学领域依旧有着极高学术造诣。
那话怎么说来着......
物理好的,数学不可能差。
甚至在年轻的时候。
胡闻洲最先研究的,便是数学领域。
只是后来因缘际会
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